Widerstandsfähig
Ein Widerstandssensor ist ein Gerät, das gemessene physikalische Größen wie Verschiebung, Verformung, Kraft, Beschleunigung, Feuchtigkeit, Temperatur usw. in Widerstandswerte umwandelt. Es gibt hauptsächlich Widerstands-Dehnungsmessstreifen vom piezoresistiven Typ, Wärmewiderstandsmessgeräte, thermische, gasempfindliche, feuchtigkeitsempfindliche und andere Widerstandsmessgeräte.
Widerstandsdehnungsmessstreifen
Die Widerstandsdehnungsmessstreifen im Sensor haben eine metallische Dehnungswirkung, das heißt, es kommt zu einer mechanischen Verformung unter Einwirkung einer äußeren Kraft, so dass sich der Widerstandswert entsprechend ändert. Es gibt zwei Haupttypen von Widerstands-Dehnungsmessstreifen: Metall- und Halbleiter-Dehnungsmessstreifen. Metall-Dehnungsmessstreifen werden in Drahttyp, Folientyp und Dünnfilmtyp unterteilt. Halbleiter-Dehnungsmessstreifen haben den Vorteil einer hohen Empfindlichkeit (normalerweise ein Dutzend Mal höher als bei Draht- und Folientypen) und einem geringen Quereffekt.
Piezoresistiv
Piezoresistive Sensoren sind Geräte, die durch Diffusionswiderstand auf dem Substrat aus Halbleitermaterialien entsprechend dem piezoresistiven Effekt von Halbleitermaterialien hergestellt werden. Das Substrat kann direkt als Messfühler verwendet werden und der Diffusionswiderstand ist in Form einer Brücke mit dem Substrat verbunden. Wenn das Substrat durch eine äußere Kraft verformt wird, ändern sich die Widerstandswerte und die Brücke erzeugt einen entsprechenden unsymmetrischen Ausgang.
Die als piezoresistive Sensoren verwendeten Substrat- (oder Membran-)Materialien sind hauptsächlich Siliziumwafer und Germaniumwafer, und aus Siliziumwafern hergestellte piezoresistive Siliziumsensoren als empfindliche Materialien haben immer mehr Aufmerksamkeit erregt, insbesondere für piezoresistive Festkörpersensoren, die Druck und Geschwindigkeit messen.
FTE
Die Widerstandstemperaturmessung basiert auf der Tatsache, dass der Widerstand eines Metallleiters mit steigender Temperatur zunimmt. Wärmewiderstände bestehen größtenteils aus reinen Metallmaterialien, wobei Platin und Kupfer am häufigsten verwendet werden, und Materialien wie Nickel, Mangan und Rhodium werden zunehmend zur Herstellung von Wärmewiderständen verwendet.
RTD-Sensoren messen die Temperatur und temperaturbezogene Parameter, indem sie die Tatsache nutzen, dass sich der Widerstandswert mit der Temperatur ändert. Dieser Sensor eignet sich besser für Fälle, in denen eine Genauigkeit der Temperaturerkennung erforderlich ist. Die umfangreicheren RTD-Materialien sind Platin, Kupfer, Nickel usw., die sich durch einen großen Temperaturkoeffizienten des Widerstands, eine gute Linearität, eine stabile Leistung, einen großen Temperaturbereich und eine einfache Verarbeitung auszeichnen. Es wird verwendet, um die Temperatur im Bereich von -200 Grad ~+500 Grad zu messen.